Erkundung eines neuen Glasmikros

29. Dezember 2022

von International Journal of Extreme Manufacturing

Die Forschungsgruppe für Laser-Materie-Wechselwirkung am Institut für intensive Laser und Anwendungen (CELIA) der Universität Bordeaux, Frankreich, hat eine neue Glas-Mikrobohrmethode unter Verwendung eines Femtosekundenlasers im GHz-Burst-Modus erforscht.

Das in der Fachzeitschrift „International Journal of Extreme Manufacturing“ veröffentlichte Forschungsteam untersuchte mithilfe eines Femtosekundenlasers von Amplitude, der im GHz-Burst-Bereich arbeitet, eine neue Glasmikrobearbeitungsmethode, die das Bohren von konischen, länglichen Löchern mit glatten Innenwänden ohne Risse ermöglicht im Glas. Normalerweise führt das Laserbohren mit Standard-Einzel-Femtosekundenpulsen zu konischen Löchern mit stark begrenzter Länge und rauer Innenoberfläche.

Dieses neue System der Laser-Materie-Wechselwirkung ermöglicht das direkte Bohren von Löchern mit hohem Aspektverhältnis in einem einzigen Schritt ohne chemisches Ätzen. Die Wahl der Laserburst-Parameter erwies sich als sehr wichtig, um eine hervorragende Mikrobearbeitungsqualität der bearbeiteten Strukturen zu erreichen. Der Femtosekundenlaser-GHz-Burst-Modus könnte den Weg für neue Anwendungen wie die Mikroelektronik ebnen, wo Silizium-Interposer wahrscheinlich durch Glas-Interposer ersetzt werden.

Mehr Informationen: Pierre Balage et al., Rissfreie Löcher mit hohem Aspektverhältnis in Gläsern durch Top-Down-Schlagbohren mit Infrarot-Femtosekundenlaser-GHz-Bursts, International Journal of Extreme Manufacturing (2022). DOI: 10.1088/2631-7990/acaa14